专利类型：发明专利

 

申请日：2018-09-12

 

摘要：本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置，其可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，增强使用效果；包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球；还包括按压泵，按压泵输出端位于放置架正上方；还包括盛放盒和支块，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件，放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴，左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部。